PECVD石墨舟装载房

基本功能

① 能准确的使石墨舟承载装片车定位。
② 能够使用石墨舟承载车在里面倾斜15度或旋转180度。
③ 配置经中效、高效过滤器过滤后的净化空气根据要求定时向机内循环吹风。

技术要求

① 整个冷却房采用不锈钢制作，保证整个设备坚固可靠。
② 风机两台，风量1000m3/hX2。
③ 配置中效及高效过滤器，确保吹出空气达到净化要求。
④ 顶部装有吸风罩和手动调节阀，可调节风量和风速。
⑤ 为达到节电效果，必须安装自控装置，当小车进入装载房后自动启动吹风，冷却到规定时间或小车离开也能自动仃止吹风。
⑥ 为防止被小车撞击后移动，减震地脚选用能安装膨胀螺钉的地脚。

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