PECVD石墨舟冷却房

基本功能

① 能准确的使石墨舟承载装片定位。
② 经过滤的洁净空气有送风机分散吹向石墨舟，保证石墨舟快速冷却。

技术要求

① 整个冷却房采用不锈钢制作，保证整个设备坚固可靠。
② 进入吹风的空气必须经中效过滤网过滤
③ 吹风机两台，左右各一台，风量1000M/h。
④ 顶部装有吸风罩和手动调节阀，可调节风量和风速。
⑤ 为达到节电效果，必须安装自控装置，当小车进入冷却房后自动启动，冷却到规定时间或小车离开冷却房后都能自动停止。
⑥ 为防止被小车撞击后移动，减震地脚选用能安装膨胀螺钉的地脚。

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